重結晶碳化（huà）矽燒結爐

重結晶碳化矽燒結爐的用途： 

用於重結晶碳化矽的高溫燒結和高溫熱處理。
重結晶碳化矽燒結爐的特點：
1.高溫可達（dá）2500℃，且可在2400℃高（gāo）溫下長期穩定工作；
2.爐型有上裝料，下裝料、真空或（huò）氣氛保護（hù）等多種選擇；
3.爐體雙層水冷（lěng），密封性好，全密封結構，帶真空抽氣係統和氬氣置換係統，保護了（le）爐體內氣體的純度；
4.IGBT節能省電，采用立式真空感應加熱方式（shì），加熱效率高，節能省電。
5.空載：升（shēng）溫速率高達600℃/h；
6.產品生產周（zhōu）期短，從入爐到出爐時間隻需要24h-36h(大爐時間長）；
7.采用紅外測溫技術，PID分（fèn）段程序控製升溫曲線。控溫精確，誤（wù）差小。
8.安全性高，采用雙層不鏽（xiù）鋼爐殼，夾層通水（shuǐ）冷卻，爐外殼溫度低於50℃。帶有氣壓，水壓和高溫報警，同時備有超壓泄氣裝置。
9.采用人機工控觸摸（mō）屏進行操控和溫度記錄，操作方便又實用。
10.可根據工藝需要加裝多級過濾係統，能有效的保護真空機組。
11.一機多爐模塊組合結構，可實現一機配多爐。
重結晶碳化矽燒結爐的配（pèi）置：
控製櫃與爐體組合：一機一爐/一機二爐/一機四爐/一機六爐U
爐體結構（gòu）：立式上開蓋裝料，立式（shì）下開蓋（gài）裝料
爐（lú）門：絲杠升降/液壓升降/手動升降；手（shǒu）動鎖緊
爐殼：內（nèi）層不鏽鋼/全（quán）不（bú）鏽鋼
爐膽：石墨氈/複合硬（yìng）氈
工作溫度（dù）：1600/2000/2400
工作氣氛：高真空/低真空/氫氣保護/惰性氣體保護
加熱器：鎢/模壓三高石墨（mò）/細顆粒石墨
真空（kōng）泵（bèng）、真空（kōng）計和紅外測溫儀：進口/國產
中頻電源：IGBT/KGPS
人機界麵：觸摸屏/工控機
PLC：歐姆龍/西門子（zǐ）
控溫儀表：日本（běn）島電/英國歐陸/國產宇電
記錄儀：無（wú）紙（zhǐ）記（jì）錄儀/有紙記錄儀；進（jìn）口/國產
電器元件（jiàn）：正泰/施耐德/西門子